【109.60】 激光热敏光刻——原理与方法 光刻是集成电路的核心，本书独辟蹊径，突破传统思维，从原理上进行创新，不同于现有的光致感光曝光光刻，提出激光热敏光刻，并系统描述了原理和方法。